ضرورت کوچک سازی مجموعه های مرکب از حسگر، پردازنده، و عملگر و یکپارچه سازی آنها روی یک تراشه منجر به ابداع ریزترین ساخته های بشری به نام سیستم های میکرو الکترومکانیکی شده است. طراحی و ساخت چنین مجموعه هایی به هم افزایی علوم و مهندسی های مختلف نیازمند است و ضرورت ایجاد یک تخصص بین رشته ای برای حل چنین...